Ipele XY iṣẹ-giga pẹlu awọn mọto servo laini

Iroyin

Ipele XY iṣẹ-giga pẹlu awọn mọto servo laini

Apẹrẹ ipele XY tuntun ngbanilaaye awọn eroja to ṣe pataki gẹgẹbi orthogonality, taara, ati fifẹ lati wa ni iṣapeye, ti o yọrisi ipele kan pẹlu awọn ifarada jiometirika alailẹgbẹ.Imọ-ẹrọ awakọ-taara pẹlu awọn mọto servo laini laini ko ni hysteresis tabi ẹhin, muu ṣiṣẹ deede ati awọn iṣewọn iwọn nanometer ti o tun le ṣe ni awọn itọsọna X ati Y mejeeji.

Ipele XY iṣẹ-giga pẹlu awọn mọto servo laini

Imọ-ẹrọ wiwakọ taara ti kii ṣe olubasọrọ n funni logan, deede, ati ipo iyara to ṣe pataki fun iṣelọpọ pupọ ti awọn ẹrọ deede.Awọn ipele XY wọnyi lo imọ-ẹrọ awakọ taara taara lati ṣaṣeyọri ipele ti o ga julọ ti iṣẹ ipo.Ipo deede jẹ idaniloju pẹlu koodu koodu laini ti ko ni olubasọrọ.Mọto ati awọn koodu koodu ti wa ni asopọ taara lati mu imukuro kuro.

Awọn ẹya ara ẹrọ pẹlu

Awọn ọkọ ayọkẹlẹ laini wiwakọ taara

Ipinnu si 0.1 microns

Atunṣe si 0.25 microns

Ipeye pipe si 5 microns

Iyara ti o pọju 1.5 m / iṣẹju-aaya

Isare ti o pọju 1.5G

Ṣiṣẹ irin-ajo 300 x 300 mm

Apapo awakọ ati gbigbe, ti a ṣajọpọ ni profaili kekere ati ifẹsẹtẹ, nfunni ni awọn anfani ojulowo ni ọpọlọpọ awọn ohun elo bii ipo pipe-giga, iṣelọpọ disiki-drive, titopọ okun, imuduro ohun elo idaduro opiti, idanwo sensọ, ati awọn ilana ọlọjẹ ti o nilo didan ati kongẹ išipopada.Awọn ipele naa le tun ni idapo pẹlu inaro miiran ati awọn ipele iyipo.


Akoko ifiweranṣẹ: Kínní-05-2023